近代的超音速氣流粉碎機是在蒸汽機和電動機等動力機械逐漸完善和推廣之后相繼創造出來的。1806年出現了用蒸汽機驅動的輥式破碎機；1858年，美國的布萊克發明了破碎巖石的顎式破碎機；1878年美國發展了具有連續破碎動作的旋回破碎機，其生產效率高于作間歇破碎動作的顎式破碎機；1895年，美國的威廉發明能耗較低的沖擊式破碎機。

與此同時，粉磨機械也有了相應的發展，19世紀初期出現了用途廣泛的球磨機；1870年在球磨機的基礎上，發展出排料粒度均勻的棒磨機；1908年又創制出不用研磨介質的自磨機。二十世紀30～50年代，美國和德國相繼研制出輥碗磨煤機、輥盤磨煤機等立軸式中速磨煤機。

超音速氣流粉碎機的出現，大大提高了粉碎作業的功效。但是，由于各種物料的粉碎特性互有差異，不同行業對產品的粒度要求也彼此不同，于是又先后創制出按不同工作原理進行粉碎作業的多種超音速 氣流粉碎機，如小型粉碎機、機械粉碎機、混合機、氣流粉碎機、分級機、雙螺旋錐形混合機、除塵設備等。

 工作原理

當壓縮空氣通過加料噴射器，粉碎原料進入粉碎室，在粉碎室外圍有數個粉碎噴嘴，噴射超音速氣流，形成高速氣流軌跡，使粉料受到氣流高速沖擊、壓縮等力的作用，使粉體互相碰撞、摩擦而粉碎，在粉碎室內由于離心力的作用，還起到了分級的目的，把超微粒子及時分離出來，粗顆粒在離心力作用下，繼續在粉碎室內作高速圓周運動，并被繼續粉碎，直至粒徑小至分離的程度。

 性能特點

1.適用于干式超微工藝，由于沖擊速度大，可達2馬赫以上，一般情況下很容易獲得1-10微米粒子。

2.由于粉碎機內部的自分級，制品中粗粒子不斷循環粉碎，因而能獲得粒子均勻、粒徑分布范圍窄的制品。

3.粉碎過程中，由于壓縮空氣激劇膨脹，使溫度下降，因此適用于低熔點，熱敏性物料的粉碎，粉碎過程中還起到混合和分散的效果。

4.該設備具有粉碎時間短，結構簡單，沒有運轉部件且操作檢修方便，占地面積小，低噪音和無振動優點。

5.粉碎效率高，能進行連續粉碎，保持粉碎制品的純度。